在線電阻率儀一般應用于高純水、超純水的在線流程檢測。在理論上電阻率和電導率互為倒數，測量純水的電阻率就是測量純水的電導率，換而言之電阻率儀就是另一種形式的電導率儀。有的行業標準中使用電阻率，有的行業標準中使用電導率。因此，電阻率儀的檢定 可以參照電導率儀檢定規程有關條款進行。
    自然水或一般純水中有較多的金屬離子存在，水質的電導率溫度系數是相對穩定的，一般選取2％／℃作為溫度補償系數，而高純水或超純水中得各種金屬離子殘量很少，一般接近痕量。引起電導率溫度系數改變的因素不再是金屬離子的多少，其溫度系數在不同的兆歐分段是一個復雜的多元函數關系，利用多個溫度敏感元件組成補償修正網絡，跟蹤斜率畸變。這時必須使用高純水電導率或電阻率儀進行測量。
    由于電導池在流體管路中不同安裝條件和不同流速都會影響在線電阻率的測量準確性，通常在現場只能對電計模擬25℃水質條件下參照電導率檢定規程有關條款進行檢定，而在現場對電阻率進行全面配套校檢定得異常困，必須將儀器送到實驗室在相應的恒溫條件下來進行全面配套檢定。下面以河北科瑞達科技股份有限公司出產的RM一220型電阻率儀為例對電阻率儀示值誤差的檢定方法加以描述 。